プラズマ計測における水晶振動子センサーバイアス電圧依存性

抄録

水素プラズマでの測定では、プラズマによる気体成分の変化によるものと考えられる水晶振動子センサー出力の変化が観測される。センサーバイアス電圧を変えて測定を行ったところ、従来行われてきたプラズマ測定のひとつであるプローブ測定のＩＶ特性と酷似した傾向が得られた。このことからこの水晶振動子センサー計測によってプラズマ中のイオンや電子といった電荷粒子の情報が得られる可能性が示された。