マグネトロンスパッタリングにおけるターゲットエロージョンの時間発展

抄録

マグネトロンスパッタリングでは、高密度プラズマ領域直下のターゲットが優先的に蒸発し、エロージョントラックと呼ばれる溝が形成される。この溝の分布はプラズマシミュレーションによって計算されてきたが、実験との一致が必ずしも良くなかった。今回我々は、種々の条件におけるエロージョンの時間発展を実験計測し、形成されたエロージョンがプラズマ構造に与える影響や、蒸発粒子の再付着の効果などについて考察した。