表面科学学術講演会要旨集
真空・表面科学合同講演会
(第30回表面科学学術講演会・第51回真空に関する連合講演会)
日本真空協会・社団法人日本表面科学会
セッションID: 5P-046
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11月5日(金)
熱電対を用いた原子状酸素の再結合係数測定装置の開発2
*石榑 文昭権藤 麻衣子稲吉 さかえ三浦 豊小方 誠司
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抄録

円筒状試料に挿入した熱電対センサーを用いその熱収支から原子状酸素の再結合現象による発熱を算出し、再結合係数γを求めることを検討している。前回、原子状酸素の拡散は、円筒の軸方向のみであるとして解析し、石英ガラスγ=1.94×10-4±41.8%を得た。今回は円筒の径方向の拡散も織り込み、γ=4.84×10-4±14.2%という結果を得た。径方向の拡散を考慮することでばらつきを減少させることができた。

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© 2010 社団法人 日本表面科学会/日本真空協会
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