主催: 日本真空協会、社団法人 日本表面科学会
(株)アルバック 筑波超材研
(株)アルバック 半電研
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円筒状試料に挿入した熱電対センサーを用いその熱収支から原子状酸素の再結合現象による発熱を算出し、再結合係数γを求めることを検討している。前回、原子状酸素の拡散は、円筒の軸方向のみであるとして解析し、石英ガラスγ=1.94×10-4±41.8%を得た。今回は円筒の径方向の拡散も織り込み、γ=4.84×10-4±14.2%という結果を得た。径方向の拡散を考慮することでばらつきを減少させることができた。
表面科学講演大会講演要旨集
日本表面真空学会学術講演会要旨集
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