電磁場逆解析法による磁気記録媒体の三次元磁場分布計測

抄録

HDDの磁区構造観察には、磁気力顕微鏡が広く用いられている。HDDの磁性体薄膜上部には保護膜が存在し、探針が磁区に接近できないため、磁区からの磁場が拡がり見かけ上の空間分解能が低下する。今回我々は、２次元磁場分布を境界条件として電磁場の方程式を解き、磁区上部の3次元磁場分布を断層的に可視化する方法を開発した。本研究では、この手法を垂直磁気記録HDDに適用した結果について報告する。