パルス計数計測法を用いた単一W原子上でのHe電界イオン生成率の測定

抄録

電界イオン顕微鏡にパルス計測機能を組み込んだ装置を用い、Heをイメージングガスとして、W試料(112)面における単一原子位置から放射される電界イオンを計数計測した。従来の巨視的な電界イオン電流量に対するイメージングガス圧およびTip印加電圧依存性と比較した結果、単一原子直上の局所領域ではガス圧に対して凡そ1次比例するが、電圧に対しては電場強度やガス原子の分極効果などの影響により次数の高い依存性を示すことが分かった。