グラフェンの電気特性評価における電子線損傷の影響

抄録

現在、実験で得られるグラフェンのキャリア移動度は理論値に遠く及ばない。その一つの要因と考えられる基板の及ぼす影響を検証するため、機械的剥離法を用いて基板に貼り付けたグラフェンのSEM中四探針測定を行った。それに伴い電子線がグラフェンに与えるダメージについて原子間力顕微鏡を用いて考察した。