表面科学学術講演会要旨集
真空・表面科学合同講演会
(第30回表面科学学術講演会・第51回真空に関する連合講演会)
日本真空協会・社団法人日本表面科学会
セッションID: 6Ca-05
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11月6日(土)
オゾン分子の赤外吸収:ガス分圧の測定及び分子解離度の評価への応用
*中村 健亀田 直人西口 哲也野中 秀彦一村 信吾
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抄録
活性な酸化剤ガスであるオゾン(O3)は非直線等核3原子分子であることから、基準振動やその結合音等の赤外吸収(IR)ピークを示し、その吸光度はLambert-Beer則に従ってO3ガス濃度に比例することが期待される。本報告では、全圧測定をIR測定と併用することでO3の分圧及びO3から酸素への解離度の評価を試みると共に、IR吸光度への測定分解能の影響と補正の必要性について検討する。
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© 2010 社団法人 日本表面科学会/日本真空協会
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