スピニングロータ真空計の比較校正法による校正及び不確かさの算出

抄録

我々は,真空領域におけるJCSS（計量法第143条に基づく計量標準供給制度）の校正事業者として登録され,トレーサビリティーの取れた校正を行うことが可能となった.圧力領域1-10^-3Pa，特定二次標準器はスピニングロータ真空計である．このシステムの中では,校正証明書に校正の不確かさを示すことが求められている.本報告では,スピニングロータ真空計を用いた比較校正法において，校正結果の不確かさを求め,最高測定能力として0.6%が得られたことを及びその過程について述べる.