主催: 日本真空協会、社団法人 日本表面科学会
著者所属:電通大電子
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MOCVD法で結晶成長を行ったInGaPは、オーダリング現象によりバンドギャップが減少することが知られている。しかしオーダリング現象によるInGaP/GaAsヘテロ接合界面への影響は未だ不明な点も多い。本研究ではShubnikov-de Haas振動を観測することにより、オーダリング現象による界面物性への影響について調べた。
表面科学講演大会講演要旨集
日本表面真空学会学術講演会要旨集
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