MEMSを用いたナノ摩擦試験のリアルタイム界面観察と特性評価

抄録

ナノサイズの機械デバイスにおいて摩擦は大きな力のひとつであり、摩擦はその性能を著しく低下させる大きな要因の一つである。そこで、講演者らは微小機械素子(MEMS)を透過型電子顕微鏡(TEM) 内部で駆動し、摩擦界面をナノスケールでその場観察する実験系、MEMS-in-TEMを開発した。本講演ではMEMS-in-TEMを用いて、様々な潤滑材料の摩擦界面をナノスケールで観察し、それと同時に摩擦力の測定を行った結果を発表する。