Cu3Au(001)上へのCu薄膜成長におけるAuの添加効果

抄録

Cu₃Au(001)上にCu-x%Au薄膜(x = 0 ~ 20)を成長し、Auの添加効果を調べた。膜厚50 nm成長後のSTM像において、Cu単体(x = 0)薄膜では粗大な3次元島が観察されたが、Auを添加した薄膜では原子レベルで平坦な2次元表面が観察された。RMSラフネスはCu単体では2.48 nmであったが、僅か2.5%のAuを添加しただけで、0.24 nmにまで低減され、平坦性が劇的に向上した。