初期表面マイクロ構造によるSi基板のナノ構造制御

抄録

リチウムイオン電池の新たな負極材料としてグラファイトの10倍の蓄電容量を持つSiが注目されているが、Siはリチウムイオンの吸収・放出時の体積変化により構造が壊れてしまうのでナノ構造化による改善が研究されている。本発表ではSiパターン基板の初期表面凹凸構造がウェットエッチングによるナノワイヤ形成に与える影響について報告する。