表面科学学術講演会要旨集
第33回表面科学学術講演会
セッションID: 28Da11
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11月28日(木)
グラファイト上のチオフェン吸着に関するヘテロ原子ドーピング効果
*下山 巖馬場 祐治関口 哲弘平尾 法恵
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抄録

吸着脱硫に関するヘテロ原子ドーピング効果を調べるため、グラファイトにP及びNドーピングを行い、チオフェンの吸着特性変化を調べた。イオンビームによるドーピング後800℃でアニールし、チオフェンを吸着させた。Ar+イオン照射した試料についても比較した結果、Ar+イオン照射、及びNドーピングではチオフェンの吸着特性がほとんど変化しなかったが、Pドーピングでは10倍以上吸着能が向上することを見出した。

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© 2013 公益社団法人 日本表面科学会
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