X線支援非接触原子間力顕微鏡（XANAM）のqPlus sensorによる電流・力場同時測定

抄録

我々はX線支援非接触原子間力顕微鏡（XANAM）という、表面元素種を放射光X線によりナノスケールで識別する非接触原子間力顕微鏡（NC-AFM）の開発を行ってきた。これまで表面元素種由来の現象が試料のX線吸収で起こり、これを探針-試料間の力場変化として検出できる事を示した。今回、ｑPlusセンサーを導入し性能向上を計り、力場と電流検出が可能になり、より詳細な現象解析ができるようになった事を報告する。