角度分解反射電子エネルギー損失分光スペクトルの因子分析から求めた化合物半導体の誘電関数

抄録

誘電関数は物質の電子構造を記述する基本的な物理量（関数）である。誘電関数を求める方法として反射電子エネルギー損失分光(REELS)が知られているが，表面とバルクの誘電関数の分離処理を必要とし，従来は理想表面を仮定して処理が行われた。そのため理想表面が得難い化合物系については従来の方法では問題がある。本研究で，理想表面を得難い化合物の誘電関数をREELSに因子分析を施して求める方法を開発した。