TaAl-N薄膜を用いた熱伝導型水素センサの開発

表面科学学術講演会要旨集

2016年真空・表面科学合同講演会

セッションID: 1PA29

DOI https://doi.org/10.14886/sssj2008.36.0_136

会議情報

主催: 公益社団法人日本表面科学j会

会議名: 2016年真空・表面科学合同講演会

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2016/11/29 - 2016/12/01

11月29日（火）

TaAl-N薄膜を用いた熱伝導型水素センサの開発

*田尻修一, 大西孝則, 岡野夕紀子, 小川倉一, 美馬宏司

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抄録

反応性スパッタにより作製したTaAl-N薄膜を熱伝導型方式により作動させ、水素センサとして評価した結果等について報告する

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