イオンアシストによるDLC薄膜低温形成の検討

抄録

DLCはダイヤモンドに近い性質を示すアモルファスな炭素膜で，優れた機械的特性を有することから，トライボロジー分野で実用化されている。一般にDLC薄膜の作製方法は多岐に渡るが，成膜温度は比較的高温であり，マイナス領域の冷却温度でDLC薄膜を作製した例は非常に少ない。本研究では，LN₂を用いた冷却により，冷却温度を25～-150℃に制御しながらイオンアシストによりDLC薄膜を作製し諸特性を調査した。