新しい非蒸発ゲッター（NEG）コーティングの開発

抄録

非蒸発ゲッターポンプは超高真空領域で高排気速度を実現可能、無振動、無騒音、完全オイルフリー、省エネルギーといった特長を持つため、超高真空の維持においては理想的な真空ポンプである。最近では真空容器の内壁に清浄なTi、Zr、V、HfといったNEG材料をコーティングして200℃程度の加熱で真空容器の内壁自体をNEGポンプとする方法が開発されている。我々も新しいNEGコーティング法を開発したので報告する。