TOF-SIMS分析による未知成分の同定へ向けた取り組み

抄録

飛行時間型二次イオン質量分析法(TOF-SIMS)は、製品表面の極薄および極小の有機物欠点の同定ツールとして期待されている。しかしながら、質量軸の精度が低いため、ピークの帰属は難しく、未知成分同定は困難である。そこで、内部添加剤を用いた質量軸較正法を考案した。モデル試料を用いた検証の結果、内部添加剤由来の高質量ピークを質量軸較正に用いることによる質量軸の精度の向上が確認された。