ナノスケールマッピングに対応した二次イオン質量分析

抄録

ナノスケールの形状や成分分布と分析との関係を正確に評価することは極めて重要であり、その分析技術は日々進歩している。SIMS装置においてもナノスケールのマッピング分析が可能なものが実用化されている。今回の発表では、他の表面分析装置との比較も行いながら、ナノスケールマッピング分析に対応したSIMS装置の概念から実用化されている装置、その応用例、さらには今後の展望までを紹介する。