反応性プラズマ支援コーティング（RePAC/MEP-IP）法による高機能窒化ホウ素薄膜の形成

抄録

反応性プラズマ支援コーティング法(RePAC法)は、多種の基板で良好な密着性を持つ硬質BN膜が成膜できる。このBN膜の特徴は、過酷環境下で必要な特性と言われている硬さ(40GPa以上)と低摩擦係数(真空中、大気中雰囲気で0.1以下)を持つ。本講演では、低摩擦特性を持つ薄膜とBN膜の比較について摩擦特性を中心に紹介する。