ZnOコーテイングの低摩擦制御と機器応用

抄録

ZnOコーティングの結晶配向性の割合の最適化をはかることでコーティングの低摩擦化を促しと機器システム応用をはかるとともに，さらに、その要因となるピエゾ特性を観察して摩擦低減に及ぼすメニズムについて検討したので報告する。