主催: 2017年真空・表面科学合同講演会
株式会社アルバック
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三極管形電離真空計は,ガラス管球しか販売されていなかった。ガラス管球は取り付けスペースが大きく,破損の心配があることから,小型で金属管球タイプの測定子を開発した.開発に当たり,測定範囲の下限側の圧力が真空チャンバー内の圧力と無関係に上昇する問題が発生した.この問題の改善に関し報告する.
表面科学講演大会講演要旨集
日本表面真空学会学術講演会要旨集
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