金属製小型三極管形電離真空計の開発

抄録

三極管形電離真空計は，ガラス管球しか販売されていなかった。ガラス管球は取り付けスペースが大きく，破損の心配があることから，小型で金属管球タイプの測定子を開発した．開発に当たり，測定範囲の下限側の圧力が真空チャンバー内の圧力と無関係に上昇する問題が発生した．この問題の改善に関し報告する．