フレキシブル基板上に形成した酸化物薄膜の曲げ耐性評価

抄録

近年、透明フレキシブルディスプレイなどへの応用に向けた酸化亜鉛系薄膜トランジスタなどの研究に注目が集まっている。ここで、プラスチックなどのフレキシブル基板は熱に弱いため高温の熱処理などのない加工プロセスが求められる。フレキシブルデバイスとして使用するためには、曲げても壊れないことが必要となる。今回、フレキシブル基板上に作製したZnO薄膜の曲げ状態での特性評価を行ったので、その結果について報告する。