樹脂基板上への薄膜立体メンブレン形成技術

抄録

本研究では、加工プロセス起因により膜種が限定されてしまう薄膜メンブレンの問題を解決し、樹脂基板上で汎用性のある立体構造を持ったメンブレンの形成技術を提案する。