非破壊コンタクト面積制御型プローブによる電気抵抗測定

抄録

グラフェンや厚さ4nmのPt膜など、非常に薄い膜でもダメージ無しに電気コンタクトするプローブを開発し、かつ電気コンタクトする面積を制御したものを開発している。今回、このプローブを用いて電気測定した結果を、蒸着により電極形成したものと比較し、本プローブの特徴ならではの利用方法を提案する。