カーボンナノチューブの電子輸送シミュレーションと電流ゆらぎの評価

抄録

金属カーボンナノチューブ(CNT)は、LSIの銅配線の代替材料として注目されている。CNTの配線長はナノ－マイクロメートル程度であるが、これらを包括的に取り扱った電気伝導シミュレーションは行われていなかった。本研究では、100万原子電子輸送シミュレーションを開発し、ナノ－マイクロメートルの金属CNTに応用した。その結果、様々な温度での電気伝導特性と電流ゆらぎのチューブ長依存性を示すことに成功した。