先端デバイスにおけるプラズマ照射ダメージの制御について

表面科学学術講演会要旨集

2017年真空・表面科学合同講演会

セッションID: 1Ca07

DOI https://doi.org/10.14886/sssj2008.37.0_32

会議情報

主催: 2017年真空・表面科学合同講演会

8月17日（木）

先端デバイスにおけるプラズマ照射ダメージの制御について

*辰巳哲也

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