動的計画法の3Dレーザマイクロビジョンへの応用 : 無線・光伝送

抄録

最適性原理に基づく動的計画法は最適問題に対する多段決定過程の解法としてBellmanにより1950年代に開発された。この手法を膳用した信号処理法をステップ周波数レーダに適用し、高分解能化を目的とする3Dレーザマイクロビジョンについて報告する。3Dレーザマイクロビジョンは微細構造物の内部構造を直感表示し、欠陥存在の有無を検査するためのものとして開発された。このためには実際上1μ皿以下の分解能が必要とされるが、従来開発された手法では、その限界分解能が10μmオーダまたはそれ以上であった。本報告では数値計算上における本手法の限界分解能10-2μmを導出し、次いでMUSIC法との比較を行ないながら本手法の数値シミュレーション結果例を示す。