テレビジョン学会技術報告
Online ISSN : 2433-0914
Print ISSN : 0386-4227
元素添加によるPt/Co多層膜の熱安定性向上 : 画像情報記録
鷲見 聡樟本 靖幸虎沢 研示綱島 滋内山 晋
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1994 年 18 巻 13 号 p. 17-24

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抄録

Pt/Co多層膜に種々の元素を添加し、その熱安定性をアニール実験により調べた。BやZnを添加したものでは垂直磁気異方性がアニール前では増加したものの、400℃,30minのアニール後では大きく減少した。これに対してTiやSiを添加したものでは、アニール後も垂直磁気異方性の低下は少なく角型比も1のままであった。電子顕微鏡による観察によれば、Ti添加により結晶が微細化するとともにアニールによる結晶成長が抑えられていることがわかった。TiやSi添加は,Pt/Co多層膜の熱安定性向上にとって有効な方法である。

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© 1994 一般社団法人映像情報メディア学会
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