Pt/Co多層膜に種々の元素を添加し、その熱安定性をアニール実験により調べた。BやZnを添加したものでは垂直磁気異方性がアニール前では増加したものの、400℃,30minのアニール後では大きく減少した。これに対してTiやSiを添加したものでは、アニール後も垂直磁気異方性の低下は少なく角型比も1のままであった。電子顕微鏡による観察によれば、Ti添加により結晶が微細化するとともにアニールによる結晶成長が抑えられていることがわかった。TiやSi添加は,Pt/Co多層膜の熱安定性向上にとって有効な方法である。