超音波エレクトロニクスの基礎と応用に関するシンポジウム講演論文集
Online ISSN : 2433-1910
Print ISSN : 1348-8236
2P3-1 イオンビームアシストスパッタ法によるa軸方向の揃ったc軸配向ScAlN薄膜の成長
正宗 千明, 柳谷 隆彦
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2019 年 40 巻 論文ID: 2P3-1

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