表面と真空
Online ISSN : 2433-5843
Print ISSN : 2433-5835
特集「2019年日本表面真空学会学術講演会特集号Ⅱ」
KAGRA超高真空容器の製造過程
中村 哲朗
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キーワード: KAGRA, UHV Chamber, out gassing rate
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2020 年 63 巻 7 号 p. 368-372

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抄録

We have manufactured two types of ultra-high vacuum vessels for the gravitational wave observation facility KAGRA. Thirteen containers with an inner diameter of 1500 mm and three containers with an inner diameter of 1200 mm were connected using a bellows unit to achieve an installation accuracy of 2 mm and a gas release rate of 10-8 Pa·m3 s-1 m-2.

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