ダブルスリット光学素子を用いた共焦線型蛍光X線分析装置の開発と特性評価

抄録

共焦点型蛍光X線分析法は，X線管と検出器の両方にポリキャピラリーレンズを取り付け，互いの焦点を一致させることで，重なり合った共焦点領域における蛍光X線スペクトルを取得する方法である．そのため，試料を走査しながら分析を行うことで3次元的な元素分布像の取得が可能である．しかし，面内に均一な層構造を有する試料では，必ずしも共焦点体積での分析は必要ではなく，広い分析範囲を測定する場合には，長い測定時間を要する課題がある．そこで，本研究では，一次X線を線状に成型し，試料からの蛍光X線も線状に観測する「共焦線型蛍光X線分析法」を新たに提案した．実際に開発した装置では，X線管と検出器の前にダブルスリットを配置することで，一次X線と蛍光X線を線状に成型した．本稿では，共焦線型蛍光X線分析装置のビーム径や空間分解能，検出限界について特性評価を行った．また，層構造を有する試料に対して，本装置の有用性を検討した．