応用物理学会学術講演会講演予稿集

第80回応用物理学会秋季学術講演会

選択された号の論文の4165件中151～200を表示しています

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先端高エネルギー光を利用した精密電子分布計測の現状

西堀英治, 笠井秀隆

セッションID: 19p-C212-3
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_151

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放射光軟X線オペランドナノ顕微分光によるデバイス表界面の多次元電子状態解析

永村直佳

セッションID: 19p-C212-4
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_152

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先端光技術による振動分光

井手口拓郎

セッションID: 19p-C212-5
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_153

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近接場分光イメージング：高感度化、高速化、広帯域化で拓く材料分析

馬越貴之

セッションID: 19p-C212-6
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_154

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テラワットPV時代の到来

仁木栄

セッションID: 18a-E301-1
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_155

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太陽光発電の主力電源化に向けた課題と将来展望

植田譲

セッションID: 18a-E301-2
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_156

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ソーラー充電システム～実使用環境での効果検証～

静敏志

セッションID: 18a-E301-3
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_157

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車載用高効率太陽電池開発の現状と将来展望

山口真史, 荒木建次

セッションID: 18a-E301-4
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_158

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ゼロエミッションタウンを実現するBEMS制御された水素エネルギーシステムの実証研究

前田哲彦

セッションID: 18p-E301-1
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_159

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ZEBにおける太陽光発電の役割と期待

梅田和彦, 小林信郷, 山口亮, 中島昭彦, 牧野司, 門田直樹

セッションID: 18p-E301-2
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_160

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高効率薄膜太陽電池の開発と新分野への展開

杉本広紀

セッションID: 18p-E301-3
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_161

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Lift-off法適用により作製した両面受光-軽量型Cu(In,Ga)Se₂太陽電池の性能評価

西村昂人, 濱田尚澄, 井上幹也, 河野悠, Chantana Jakapan, 増田泰造, 峯元高志

セッションID: 18p-E301-4
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_162

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30%以上の超高効率を目指したCIS系タンデムセルの開発

山田明

セッションID: 18p-E301-5
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_163

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「宇宙から地上へ」高性能太陽電池の開発

高本達也, 十楚博行, 山口洋司, 鷲尾英俊

セッションID: 18p-E301-6
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_164

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NiO/ZnO可視光透過型太陽電池の放射線及びヒートサイクル耐性の検討

加藤匠秀, イゾールカトリ, 杉山睦

セッションID: 18p-E301-7
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_165

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CdTe太陽電池への放射線照射および高湿環境の影響

岡本保, 福井貴大, 戸澤竜士, 小林知洋, 今泉充, 奥野泰希, 秋吉優史, 後藤康仁

セッションID: 18p-E301-8
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_166

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陽子線照射によるCu(In,Ga)Se₂太陽電池の劣化および回復

西永慈郎, 外川学, 奥村宏典, 井村将隆, 宮原正也, 石塚尚吾

セッションID: 18p-E301-9
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_167

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SiとGe表面のウェットエッチングの新潮流：不動態化から加工まで

有馬健太

セッションID: 19p-B11-1
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_168

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III-V族化合物半導体のウェットエッチング〜窒化物半導体に関する最近の話題を中心に〜

佐藤威友, 渡久地政周

セッションID: 19p-B11-2
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_169

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ⅢⅤ族化合物半導体における水との表面反応メカニズム考察

西尾賢哉, 大井上昂志, 齋藤卓, 萩本賢哉, 岩元勇人, 小川祐一, 井田純一

セッションID: 19p-B11-3
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_170

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フッ硝酸を用いたSiエッチングにおけるソーマーク段差平坦化メカニズムの解明

深谷天, 大井上昂志, 齋藤卓, 萩本賢哉, 岩元勇人

セッションID: 19p-B11-4
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_171

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多様化する電子デバイスの物理洗浄～スプレー洗浄の有用性とその課題～

清家善之

セッションID: 19p-B11-5
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_172

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DRAMにおける洗浄技術の開発課題

八木秀明

セッションID: 19p-B11-6
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_173

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次世代三次元フラッシュメモリにおけるウェットプロセスの有用性

吉水康人

セッションID: 19p-B11-7
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_174

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貴金属触媒を用いた湿式Si-TSV形成におけるエッチング溶液濃度の検討

依岡拓也, 花谷俊輔, 伊藤健, 清水智弘, 新宮原正三

セッションID: 19p-B11-8
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_175

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The Quest for the Ultimate Focused Ion Beam in the Nano-Device Age

Tan Shida

セッションID: 19p-E302-1
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_176

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Helium Ion Beam Lithography with High Patterning Fidelity

Lee Chien-Lin, Cai Jia-Syun, Chien Sheng-Wei, Tsai Kuen-Yu

セッションID: 19p-E302-2
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_177

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Enabling MoS₂ memtransistors via localised helium ion beam irradiation

Jakub Jadwiszczak, Darragh Keane, Pierce Maguire, Yangbo Zhou, Hua-Din ...

セッションID: 19p-E302-3
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_178

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YBaCuO Nano-SQUIDs Fabricated by Focused Helium Ion Beam Direct Writing

Cybert Shane, Li Hao, Cho Ethan

セッションID: 19p-E302-4
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_179

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Helium Ion Beam Milling Patterned Suspended Graphene Double Quantum Dots

Zhongwang WANG, Muruganathan Manoharan, Shimit Marek Edward, 森田行則, 小川 ...

セッションID: 19p-E302-5
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_180

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Nano Patterning and Observation Using Helium Ion Microscope, Usage examples (2) at Osaka University

Kimihiro Norizawa

セッションID: 19p-E302-6
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_181

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Usefulness of helium ion microscopy for ultrastructural cell biology.

Shiro Takei, Makoto Horikawa, Mitsutoshi Setou, Shinichi Ogawa

セッションID: 19p-E302-7
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_182

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Multi-species FIB for high resolution and large area nanofabrication applications

Yu Andrew

セッションID: 19p-E302-8
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_183

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ALDプロセス開発の課題とデータサイエンスへの期待

霜垣幸浩

セッションID: 20p-N304-1
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_184

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マテリアルズインフォマティクスの視点からみたALDとALE

知京豊裕, 木野日織

セッションID: 20p-N304-2
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_185

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原子層成膜プロセスの次世代制御手法

光成正, 佐藤寿樹, 鈴木悠介, 菊地貴倫, 加賀谷宗仁, 森貞佳紀, 米道仁史, 茂木弘典, 守屋剛

セッションID: 20p-N304-3
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_186

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室温原子層堆積法の開発とガスバリア応用

鹿又健作, 三浦正範, 廣瀬文彦

セッションID: 20p-N304-4
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_187

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ビーム実験による原子層プロセス反応解析

唐橋一浩, 伊藤智子, 浜口智志

セッションID: 20p-N304-5
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_188

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acac吸着表面へのAr-GCIB照射によるNiの原子層エッチング

植松功多, 豊田紀章

セッションID: 20p-N304-6
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_189

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Arイオン照射窒化ガリウム表面の塩素吸着層のイオンエネルギー依存性

長谷川将希, 堤隆嘉, 近藤博基, 関根誠, 石川健治, 堀勝

セッションID: 20p-N304-7
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_190

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表面反応制御による高選択Conformal ALE

伊澤勝

セッションID: 20p-N304-8
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_191

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SiNx の ALE におけるフッ素ラジカルの In-situ エッチング反応解析

中根一也, ルネイ　ヘリンカス　ヨセフフェーフィート, 堤隆嘉, 小林伸好, 堀勝

セッションID: 20p-N304-9
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_192

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SiN Atomic Layer Etching表面状態の変動解析

平田瑛子, 深沢正永, 釘宮克尚, 長岡弘二郎, 唐橋一浩, 浜口智志

セッションID: 20p-N304-10
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_193

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はじめに

佐藤威友

セッションID: 20p-E301-1
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_194

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触媒表面基準エッチング法によるGaN基板の無歪研磨

佐野泰久, 有馬健太, 山内和人

セッションID: 20p-E301-2
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_195

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Atomic Scale Processing for GaN Devices

伊藤昌平, Agnieszka Kurek, Mike Cooke

セッションID: 20p-E301-3
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_196

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GaN ウエットエッチング

堀切文正, 福原昇

セッションID: 20p-E301-4
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_197

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PECエッチングによるメサ構造GaN p-n接合ダイオード

三島友義

セッションID: 20p-E301-5
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_198

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n型GaNのICP-RIEにおけるバイアスパワー制御によるプラズマダメージの低減

山田真嗣, 櫻井秀樹, 長田大和, 中村敏幸, 上村隆一郎, 須田淳, 加地徹

セッションID: 20p-E301-6
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_199

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界面顕微光応答法によるエッチングしたGaN表面の2次元評価

塩島謙次

セッションID: 20p-E301-7
発行日: 2019/09/04
公開日: 2022/07/22

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2019.2.0_200

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