応用物理学会学術講演会講演予稿集

第69回応用物理学会春季学術講演会

選択された号の論文の3127件中2751～2800を表示しています

メタデータをダウンロード

すべての抄録を表示する

極小熱伝導率を有する単結晶ゲルマナン薄膜の創製

上松悠人, 寺田吏, 石部貴史, 中村芳明

セッションID: 25p-D114-3
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2751

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (261K)
高抵抗Si(111)基板上におけるCaGe₂薄膜の形成

岡田和也, 伊藤麻維, 中塚理, 黒澤昌志

セッションID: 25p-D114-4
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2752

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (402K)
量子ドット実現に向けた超高Sn組成GeSnの自己組織化形成

橋本薫, 柴山茂久, 安坂幸師, 中塚理

セッションID: 25p-D114-5
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2753

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (381K)
固相エピタキシャル成長法によるPドープSi_1-xSn_x薄膜の形成

大岩樹, 黒澤昌志, 中塚理

セッションID: 25p-D114-6
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2754

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (834K)
Si_1−xGe_xバッファ上におけるSi_1−xSn_x薄膜の結晶成長

藤本一彰, 黒澤昌志, 中塚理

セッションID: 25p-D114-7
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2755

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (410K)
液浸ラマン分光法による極薄膜GOI pMOSFETの異方性二軸応力評価

横川凌, Chia-Tsong Chen, Kasidit Toprasertpong, 竹中充, 高木信一, 小椋厚志

セッションID: 25p-D114-8
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2756

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (348K)
Siパターン基板上へのGeエピタキシャル層のCVD成長

ムハマドファイズファイズ, Jose A. Piedra-Lorenzana, 飛沢健, 中井哲弥, 石川靖彦

セッションID: 25p-D114-9
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2757

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (208K)
トレンチ埋め込みSi上Ge層における格子ひずみの影響

加藤滉大, Bin Amin Mohd Faiz, Jose A. Piedra-Lorenzana, 飛沢健, 中井哲弥, 石川靖 ...

セッションID: 25p-D114-10
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2758

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (437K)
カーボンドープシリコンナノワイヤ内の格子面間隔分布の検討

広沢一郎, 吉岡和俊, 小笠原凱, 張桐永, 伊藤佑太, 寿川尚, 渡辺剛, 横川凌, 小椋厚志

セッションID: 25p-D114-11
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2759

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (352K)
GeSn単結晶薄膜のX線非弾性散乱測定

千野雅人, 横川凌, 小椋厚志, 内山裕士, 立岡浩一, 志村洋介

セッションID: 25p-D114-12
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2760

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (302K)
XAFS を用いた単結晶バルクSiGe におけるDebye-Waller 因子の温度変化量評価

吉岡和俊, 小笠原凱, 花房秀政, 西優貴人, 荒井康智, 広沢一郎, 渡辺剛, 横川凌, 小椋厚志

セッションID: 25p-D114-13
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2761

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (412K)
Si-on-quartzウエハ上ひずみGe層の近赤外吸収特性

葛谷樹矢, 飛沢健, 石川靖彦

セッションID: 25p-D114-14
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2762

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (539K)
PLスペクトル解析による無歪GeSn(Sn 9%)バンド構造の検討

佐竹雄太, 松永靜流, 小笠原凱, 伊藤佑太, 横川凌, 志村洋介, Roger Loo, Anurag Vohra, 小椋厚 ...

セッションID: 25p-D114-15
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2763

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (572K)
歪みSi/緩和 SiGe/Si(110)ヘテロ構造p-MOSFETの高正孔移動度化とリーク電流の低減

藤澤泰輔, 各川敦史, 堀内未希, 坂田千尋, 山中淳二, 原康祐, 澤野憲太郎, 中川清和, 有元圭介

セッションID: 25p-D114-16
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2764

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (341K)
Al/Si(111)上に表面偏析したSiの光電子分光分析

酒井大希, 松下圭吾, 大田晃生, 田岡紀之, 牧原克典, 宮﨑誠一

セッションID: 26a-P05-1
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2765

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (482K)
SiO₂上へのニッケルシリサイド超薄膜の形成と化学結合状態分析

木村圭佑, 西村駿介, 田岡紀之, 大田晃生, 牧原克典, 宮﨑誠一

セッションID: 26a-P05-2
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2766

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (388K)
Geメサパターン上の歪みSiGe膜へのクラック発生におけるエッチング深さの影響

我妻勇哉, Md. Mahfuz Alam, 岡田和也, 金澤伶奈, 山田道洋, 浜屋宏平, 澤野憲太郎

セッションID: 26a-P05-3
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2767

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (358K)
Geマイクロブリッジ上への歪みSiGe成長と発光特性

井上貴裕, 我妻勇哉, 池ヶ谷玲雄, 岡田和也, 澤野憲太郎

セッションID: 26a-P05-4
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2768

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (318K)
スパッタエピタキシー法により作製したGe/GeSnヘテロ構造におけるSn拡散

塚本貴広, 池野憲人, 広瀬信光, 笠松章史, 松井敏明, 須田良幸

セッションID: 26a-P05-5
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2769

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (234K)
基底・励起準位同時共鳴を用いたシリコン空孔量子センサ温度計測高感度化

山崎雄一, 増山雄太, 児島一聡, 土田秀一, 星乃紀博, 大島武

セッションID: 25a-E301-1
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2770

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (396K)
電子線照射によって形成した4H-SiC中シリコン空孔の濃度定量

元木秀, 佐藤真一郎, 佐伯誠一, 増山雄太, 山﨑雄一, 土方泰斗, 大島武

セッションID: 25a-E301-2
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2771

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (366K)
4H-SiC結晶中に形成された窒素空孔センタの偏光特性

松下大記, 佐藤真一郎, 大島武, 土方泰斗

セッションID: 25a-E301-3
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2772

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (307K)
SiC基板の偏光観察における欠陥コントラスト生成メカニズム

原田俊太, 村山健太

セッションID: 25a-E301-4
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2773

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (447K)
4H-SiC結晶における貫通刃状転位の上昇運動を考慮した転位動力学シミュレーション

別役潔, 星乃紀博, 鎌田功穂, 神田貴裕, 土田秀一

セッションID: 25a-E301-5
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2774

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (374K)
軟X線発光分光によるSiC結晶中窒素濃度の評価

川西咲子

セッションID: 25a-E301-6
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2775

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (291K)
4H-SiCエピタキシャル成長層における二重菱形形状単一ショックレー型積層欠陥の解析

西尾譲司, 太田千春, 飯島良介

セッションID: 25a-E301-7
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2776

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (817K)
n 型4H-SiC エピ膜中の様々な積層欠陥による電流制限効果

浅田聡志, 村田晃一, 土田秀一

セッションID: 25a-E301-8
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2777

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (197K)
4H-SiCにおける電子移動度および正孔移動度の異方性

石川諒弥, 原征大, 田中一, 金子光顕, 木本恒暢

セッションID: 25a-E301-9
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2778

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (902K)
SiC(0001)表面のステップ端の微視的な構造の解明

制野かおり, 押山淳

セッションID: 25p-E301-1
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2779

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (189K)
4H-SiC基板上の加工ダメージとエピタキシャル成長におけるステップバンチング発生との関係

升本恵子, 先崎純寿, 山口浩

セッションID: 25p-E301-2
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2780

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (325K)
Al濃度10²⁰cm^-3台前半でのp型4H-SiC CVDエピ膜の結晶性と電気特性との関係

近藤佑樹, 日高淳輝, 松浦秀治, 紀世陽, 江藤数馬, 児島一聡, 加藤智久, 吉田貞史, 奥村元

セッションID: 25p-E301-3
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2781

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (691K)
顕微ラマン分光法による多層電極付n形4H-SiC結晶の高温電子物性

近藤聖也, 須田潤

セッションID: 25p-E301-4
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2782

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (338K)
4H-SiCエピタキシャル成長層内で拡張した平行四辺形形状積層欠陥の構造解析

太田千春, 西尾譲司, 飯島良介

セッションID: 25p-P12-1
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2783

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (594K)
Dynamic AGE-ing^®を用いた4H-SiC基板の加工変質層除去によるIn-grown SF形成の抑制

戸田晃平, 佐々木淳, 堂島大地, 小島清, 三原啓司, 三谷慎一, 金子忠昭

セッションID: 25p-P12-2
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2784

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (894K)
X線回折によるパワー半導体単結晶基板の結晶面湾曲の3D可視化

姚永昭, 平野馨一, 佐藤功二, 菅原義弘, 横江大作, 岡田成仁, 只友一行, 佐々木公平, 倉又朗人, 石川由加里

セッションID: 25p-P06-1
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2785

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (946K)
半導体スピン素子のための高濃度Si層の作製

石川瑞恵

セッションID: 25p-P06-2
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2786

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (566K)
TEMによるMist CVD法α-Al₂O₃基板上α-In₂O₃の結晶構造解析

早川優香, 大野颯一朗, 山口智広, 尾沼猛儀, 本田徹, 今野豊彦

セッションID: 25p-P06-3
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2787

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (362K)
金沢金箔がもつ特徴的構造のTEM観察

徐圓テツ, 麻生浩平, 村田英幸, 大島義文

セッションID: 25p-P06-4
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2788

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (166K)
MOVPE成長p GaNの0.88 eV 正孔トラップに関するイオン注入/高温熱処理プロセスの影響

徳田豊, 冨田一義, 加地徹, 伊藤成志, 八木孝秀

セッションID: 25p-P06-5
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2789

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (304K)
機械学習を用いたCZ-Si結晶中酸素不純物濃度へのプロセスパラメータの影響評価

沓掛健太朗, 番場博則, 永井勇太

セッションID: 26a-E104-1
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2790

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (452K)
ANN原子間ポテンシャルによるSi結晶中の大規模原子空孔クラスターの優先的成長モードの予測

野田祐輔, 後口拓登, 横井達矢, 神山栄治, 大櫃万聖, 永倉大樹, 末岡浩治

セッションID: 26a-E104-2
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2791

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (367K)
ANN原子間ポテンシャルによるSi結晶中の大規模有限サイズ拡張格子欠陥の形成エネルギー予測

野田祐輔, 大櫃万聖, 横井達矢, 神山栄治, 後口拓登, 永倉大樹, 末岡浩治

セッションID: 26a-E104-3
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2792

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (401K)
Si結晶中の自己格子間原子の凝集過程に関する考察

神山栄治, 野田祐輔, 大櫃万聖, 後口拓登, 横井達矢, 末岡浩治

セッションID: 26a-E104-4
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2793

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (503K)
Si(100)表面を対象とするANNポテンシャルの開発と計算精度の検証

佐藤正義, 大櫃万聖, 後口拓登, 野田祐輔, 末岡浩治

セッションID: 26a-E104-5
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2794

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (532K)
CZ-Si 単結晶中の N-V 複合体の安定性とそれに O が与える影響

佐田晃, 野田祐輔, 末岡浩治, 梶原薫, 宝来正隆

セッションID: 26a-E104-6
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2795

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (356K)
量子アニーリングを用いた固体中イオン拡散の取扱い

内村慶舟, 市場友宏, 本郷研太, 中野晃佑, 前園涼

セッションID: 26a-E104-7
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2796

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (129K)
3次元数値解析によるa-, c-, m-軸サファイア結晶中の転位密度解析

柿本浩一, 中野智

セッションID: 26a-E104-8
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2797

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (343K)
3次元数値解析によるβ型酸化ガリウムの転位密度解析の試み

柿本浩一, 中野智, 姚永昭, 高橋勲, 吉川彰

セッションID: 26a-E104-9
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2798

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (294K)
応力解析による多結晶Siナノファセット構造の転位発生への影響調査

山腰健太, 大野裕, 沓掛健太朗, 小島拓人, 工藤博章, 田中博之, 宇佐美徳隆

セッションID: 26a-E104-10
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2799

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (541K)
ボロンドープCZシリコン基板における水素と酸素の熱処理挙動

棚橋克人, 白澤勝彦, 平藤駿介, 高遠秀尚

セッションID: 26a-E104-11
発行日: 2022/02/25
公開日: 2025/04/19

DOIhttps://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2022.1.0_2800

会議録・要旨集フリー

PDF形式でダウンロード (228K)

J-STAGEへの登録はこちら（無料）