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*杉本 拓, 須田 聖一, 川原 浩一
会議録・要旨集
フリー
我々はこれまでにセリア砥粒を用いたCMPにおけるガラス/スラリー界面の電気特性について検討してきた。その結果スラリー中のカチオン濃度を高くすることでガラス界面導電性は上昇することが分かってきた。しかし界面導電性とガラス研磨特性との関係について詳細はいまだ明らかになっていない。そこで私たちは化学研磨メカニズム解明を目指してスラリー中のカチオン濃度が研磨特性に及ぼす影響について比較検討を行った。
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山田 作衛
日本物理学会講演概要集
2008年
63.1.1 巻
24aZJ-7
発行日: 2008/02/29
公開日: 2018/03/03
会議録・要旨集
フリー
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鈴木 友, 佐々木 修, 池野 正弘, 戸本 誠, 杉本 拓也, 高橋 悠太, 奥村 恭幸, 坂本 宏, 川本 辰男, 石野 雅也, 久保田 隆至, 金賀 史彦, 結束 晃平, 平山 翔, 蔵重 久弥, 門坂 拓哉, 丹羽 正, 菅谷 頼仁, ATLAS日本TGCエレキグループ
日本物理学会講演概要集
2008年
63.1.1 巻
24aZJ-6
発行日: 2008/02/29
公開日: 2018/03/03
会議録・要旨集
フリー
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高橋 悠太, 戸本 誠, 杉本 拓也, 奥村 恭幸, 長谷川 慧, 佐々木 修, 安 芳次, 池野 正弘, 坂本 宏, 川本 辰男, 石野 雅也, 久保田 隆至, 平山 翔, 金賀 史彦, 結東 晃平, 蔵重 久弥, 松下 崇, 門坂 拓哉, 丹羽 正, 中塚 洋輝, 早川 俊, 長谷川 庸司, 福永 力, 菅谷 頼仁, ATLAS日本TGCグループ
日本物理学会講演概要集
2008年
63.1.1 巻
24aZJ-2
発行日: 2008/02/29
公開日: 2018/03/03
会議録・要旨集
フリー
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平山 翔, 金賀 史彦, 結束 晃平, 鈴木 友, 石野 雅也, 川本 辰男, 久保田 隆至, 坂本 宏, 池野 正弘, 岩崎 博行, 佐々木 修, 田中 秀治, 奥村 恭幸, 杉本 拓也, 高橋 悠太, 戸本 誠, 長谷川 慧, 越智 敦彦, 門坂 拓哉, 蔵重 久弥, 中塚 洋輝, 丹羽 正, 早川 俊, 松下 崇, 菅谷 頼仁, 福永 力, 竹下 徹, ATLAS日本TGCグループ
日本物理学会講演概要集
2008年
63.1.1 巻
24aZJ-1
発行日: 2008/02/29
公開日: 2018/03/03
会議録・要旨集
フリー
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*杉本 拓, 須田 聖一, 川原 浩一, 鈴木 俊正
会議録・要旨集
フリー
これまでにセリア砥粒を用いたCMPにおけるガラス/スラリー界面特性について検討してきた。その結果、ガラス表面導電性により化学研磨性を評価できることが分かった。一般に、砥粒の化学研磨性は組成や欠陥構造に影響を受けることが知られている。そこで砥粒の組成と化学研磨性との関係を明らかにするために、噴霧熱分解法で合成した組成の異なるセリア系砥粒を用いて研磨特性および表面導電性の評価を行った。
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*杉本 拓, 須田 聖一
会議録・要旨集
フリー
セリア砥粒を用いたガラスのCMPにおいてCe
4+/Ce
3+の酸化還元によるガラス表面への電子供与が化学研磨性に重要な役割を果たしていることが分かっている。しかしこの電子供与の詳細はいまだ明らかになっていない。そこで私たちは化学研磨メカニズム解明を目指して研磨におけるガラス/水界面の電気特性を定量的に求め、ガラス組成が界面電荷移動に及ぼす影響について考察を行った。
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高橋 雅也, 澤田 慶, 大槻 太毅, 有田 将司, 生天目 博文, 谷口 雅樹, 堀尾 眞史, 杉本 拓也, N. L. Saini, 菅原 仁, 溝川 貴司
日本物理学会講演概要集
2015年
70.1 巻
23pBC-8
発行日: 2015/03/21
公開日: 2017/07/10
会議録・要旨集
フリー
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松本 凌弥, 杉本 拓也, 溝川 貴司, Naurang Saini, 有田 将司, 生天目 博文, 谷口 雅樹, Rajveer Jha, 東中 隆二, 松田 達磨, 青木 勇二
日本物理学会講演概要集
2018年
73.2 巻
11aPS-48
発行日: 2018年
公開日: 2019/10/28
会議録・要旨集
フリー
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野田 智博, 大槻 太毅, 杉本 拓也, 堀尾 眞史, 藤森 淳, 小林 正起, 堀場 弘司, 小野 寛太, 組頭 広志, 工藤 一貴, 高須賀 政哉, 野原 実, N. L. Saini, 溝川 貴司
日本物理学会講演概要集
2015年
70.2 巻
16aDB-5
発行日: 2015/09/16
公開日: 2017/07/10
会議録・要旨集
フリー
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水口 佳一, E. Paris, 杉本 拓也, 梶谷 丈, 溝川 貴司, N. L. Saini, 三浦 大介
日本物理学会講演概要集
2015年
70.1 巻
22pBE-4
発行日: 2015/03/21
公開日: 2017/07/10
会議録・要旨集
フリー
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池浦 晃至, 酒井 英明, M. S. Bahramy, 十倉 好紀, 石渡 晋太郎
日本物理学会講演概要集
2015年
70.1 巻
21pBE-9
発行日: 2015/03/21
公開日: 2017/07/10
会議録・要旨集
フリー
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杉本 拓也, 大槻 太毅, 澤田 慶, 安斎 太陽, 有田 将司, 生天目 博文, 谷口 雅樹, 堀尾 眞史, 堀場 弘司, 小林 正起, 小野 寛太, 組頭 広志, 稲辺 拓也, 野地 尚, 小池 洋二, Naurang L. Saini, 溝川 貴司
日本物理学会講演概要集
2015年
70.1 巻
21pBA-15
発行日: 2015/03/21
公開日: 2017/07/10
会議録・要旨集
フリー
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松本 凌弥, 岡本 陽平, 杉本 拓也, 溝川 貴司, 堀場 弘司, 小野 寛太, 組頭 広志, Naurang Saini, Rajveer Jha, 東中 隆二, 松田 達磨, 青木 勇二
日本物理学会講演概要集
2017年
72.2 巻
24aF31-7
発行日: 2017年
公開日: 2018/11/13
会議録・要旨集
フリー
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松本 凌弥, 八木原 統, 岡本 陽平, 杉本 拓也, 溝川 貴司, 岩井 千佳, 三好 清貴, 竹内 潤, 小林 正起, 堀場 弘司, 小野 寛太, 組頭 弘志
日本物理学会講演概要集
2017年
72.1 巻
18aL22-7
発行日: 2017年
公開日: 2018/04/19
会議録・要旨集
フリー
Li_x_CoO_2_の電子状態を角度分解光電子分光および共鳴光電子分光で調べたので、報告する。ホール濃度によってフェルミ面やバンド構造が変化する様子が観測された。ホール濃度と電子相関の関係について議論する。
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宮沢 優一, 千葉 順成, 足立 一郎, 西田 昌平, 池田 博一, 住吉 孝行, 西澤 勲, 飯嶋 徹, 山岡 美緒, P. Krizan, S. Kopar, Belle Aerogel-RICHグループ
日本物理学会講演概要集
2007年
62.2.1 巻
22aYC-9
発行日: 2007/08/21
公開日: 2018/03/03
会議録・要旨集
フリー
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奥村 恭幸, 戸本 誠, 杉本 拓也, 高橋 悠太, 佐々木 修, 安 芳次, 池野 正弘, 坂本 宏, 川本 辰男, 石野 雅也, 野本 裕史, 久保田 隆至, 蔵重 久弥, 門坂 拓哉, 丹羽 正, 菅谷 頼仁, 長谷川 庸司, 福永 力, ATLAS日本TGCエレキグルーブ
日本物理学会講演概要集
2007年
62.2.1 巻
22aYC-3
発行日: 2007/08/21
公開日: 2018/03/03
会議録・要旨集
フリー
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高橋 悠太, 戸本 誠, 杉本 拓也, 奥村 恭幸, 佐々木 修, 安 芳次, 池野 正弘, 坂本 宏, 川本 辰男, 石野 雅也, 野本 裕史, 久保田 隆至, 蔵重 久弥, 門坂 拓也, 丹羽 正, 菅谷 頼仁, 長谷川 庸司, 福永 力, ATLAS TGCグループ
日本物理学会講演概要集
2007年
62.2.1 巻
22aYC-2
発行日: 2007/08/21
公開日: 2018/03/03
会議録・要旨集
フリー
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越智 敦彦, 池野 正弘, 石野 雅也, 岩崎 博行, 大下 英敏, 奥村 恭幸, 門坂 拓哉, 川本 辰男, 久保田 隆至, 蔵重 久弥, 坂本 宏, 佐々木 修, 菅谷 頼仁, 杉本 拓也, 高橋 悠太, 田中 秀治, 戸本 誠, 丹羽 正, 野本 裕史, 長谷川 庸司, 福永 力, 安 芳次, ATLAS JAPANグループ
日本物理学会講演概要集
2007年
62.2.1 巻
22aYC-1
発行日: 2007/08/21
公開日: 2018/03/03
会議録・要旨集
フリー
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杉本 拓也, 井上 英則, 洪 淑貴, 田中 佑樹, 井戸 洋旭, 長谷 康弘
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