CMPの研磨特性に及ぼすスラリー中カチオン濃度の影響

抄録

我々はこれまでにセリア砥粒を用いたCMPにおけるガラス/スラリー界面の電気特性について検討してきた。その結果スラリー中のカチオン濃度を高くすることでガラス界面導電性は上昇することが分かってきた。しかし界面導電性とガラス研磨特性との関係について詳細はいまだ明らかになっていない。そこで私たちは化学研磨メカニズム解明を目指してスラリー中のカチオン濃度が研磨特性に及ぼす影響について比較検討を行った。