噴霧熱分解法で合成したセリア系砥粒の研磨特性と表面導電性

抄録

これまでにセリア砥粒を用いたCMPにおけるガラス/スラリー界面特性について検討してきた。その結果、ガラス表面導電性により化学研磨性を評価できることが分かった。一般に、砥粒の化学研磨性は組成や欠陥構造に影響を受けることが知られている。そこで砥粒の組成と化学研磨性との関係を明らかにするために、噴霧熱分解法で合成した組成の異なるセリア系砥粒を用いて研磨特性および表面導電性の評価を行った。