抄録
近年，ミクロな視点から，固体の付着・凝集特性を解析する技術の開発が望まれている。本論文では，原子間力顕微鏡 (AFM: Atomic force microscope) の微細探針を用いて，微細レジストパターンに直接荷重を加える手法により，その弾性特性を解析する。実験では，線幅が60nmの電子線用化学増幅型レジストパターンのバネ定数の導出を試みる。まず，先端形状の異なる3種類の微細探針を用いて，実験条件の最適化を行った。次に，微細探針とレジストパターンから構成される連結バネモデルを考えることで，レジストパターンのねじれのバネ定数を算出した。その結果，バネ定数を403N/mと見積もることができた。本論文では，AFMを用いたレジストパターンの弾性解析の妥当性を考察する。
