日本接着学会誌
Online ISSN : 2187-4816
Print ISSN : 0916-4812
ISSN-L : 0916-4812
研究速報
原子間力顕微鏡(AFM)により解析した熱応力に起因するラインレジストパターンの剥離特'性
河合 晃井上 大輔
著者情報
ジャーナル フリー

2003 年 39 巻 3 号 p. 107-110

詳細
抄録
微細素子の形成技術において,レジストパターンの付着性の改善は重要課題として位置付けられている。ライン形状のレジストパターンを熱処理することにより,パターン先端に熱応力が集中する。原子間力顕微鏡(AFM)を用いてパターンを剥離したところ,パターン先端が剥離しやすいことを確認した。有限要素解析を用いて,パターン内の熱応力と剥離性との相関を確認した。
著者関連情報
© 2003 一般社団法人 日本接着学会
前の記事 次の記事
feedback
Top