ヘキサメチルジシラザン(HMDS)処理をした探針先端とSi基板表面間のファンデルワールス相互作用

抄録

原子間力顕微鏡AFMの微細探針を用いて，探針と基板間の相互作用力（引力）の距離依存性を直接測定できる。探針先端にHMDS(hexamethyldisilazane)を用いた疎水化処理を行うことにより，ファンデルワールス相互作用および水素結合に起因した引力は減少し，かつ，近距離になった。以上の結果は，表面エネルギーの結果に相関があり，微小固体の付着および分散制御に有効である。