抄録
ナノインプリントプロセスは微細な凹凸を形成したモールドやスタンパーと呼ばれる版を材料表面に押し付けて,その微細凹凸を材料表面に転写させるプロセスであり,高精細な凹凸を形成できことからレジスト工程等の簡略化が可能である。我々はアクリル系粘着剤に紫外線硬化型樹脂を添加した化合物をフィルム状に塗布することにより,紫外線照射前は容易にスタンパーの微細凹凸を転写することができ転写直後に紫外線照射を行なうことで,微細凹凸形状を保持できる転写シートを開発した。また,紫外線硬化型樹脂と粘着主剤が直接反応することにより硬化物中に強固な架橋ネットワークを形成させ,プロセスに必要な耐熱性 (形状保持性) においても微細凹凸形状が維持できる材料であることを見出したので報告する。