2024 年 60 巻 4 号 p. 89-96
本研究では波長405 nmの青紫レーザーを用いたレーザー描画法により酸化亜鉛(ZnO)薄膜表面のマイクロパターニングを行った。ここでは,ZnO層の直下に厚み60~70 nm程度のポリピロール(PPy)薄膜をレーザー光の感応層として導入することで,ZnO表面に細線幅1μm程度の凹状パターン形成に成功した。また,レーザー照射によりZnO相の結晶性の向上やバンド間遷移に由来する紫外発光(370~390nm)と欠陥準位に由来する可視発光(500~540 nm)の増強が見られたほか,ZnO層と基板との密着性の向上も観察された。さらに,得られたZnO表面のマイクロパターンをポリジメチルシロキサン(PDMS)表面に転写することにも成功した。