日本接着学会誌
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研究論文
レーザー描画による酸化亜鉛薄膜のマイクロパターニング
御田村 紘志北川 晋也中村 優志渡辺 充松川 公洋榎本 博行渡瀬 星児
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2024 年 60 巻 4 号 p. 89-96

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抄録

本研究では波長405 nmの青紫レーザーを用いたレーザー描画法により酸化亜鉛(ZnO)薄膜表面のマイクロパターニングを行った。ここでは,ZnO層の直下に厚み60~70 nm程度のポリピロール(PPy)薄膜をレーザー光の感応層として導入することで,ZnO表面に細線幅1μm程度の凹状パターン形成に成功した。また,レーザー照射によりZnO相の結晶性の向上やバンド間遷移に由来する紫外発光(370~390nm)と欠陥準位に由来する可視発光(500~540 nm)の増強が見られたほか,ZnO層と基板との密着性の向上も観察された。さらに,得られたZnO表面のマイクロパターンをポリジメチルシロキサン(PDMS)表面に転写することにも成功した。

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© 2024 一般社団法人 日本接着学会
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