ボロン薄膜における高エネルギー重水素の化学的挙動の解明 (II)

抄録

プラズマCVDにより調製した高純度ボロンコーティング薄膜にイオン注入された重水素の捕捉状態をXPSおよびTDS実験結果から考察した。また、重水素イオン注入後のTDS実験結果から、重水素脱離過程の速度論的考察を行なった。