石英ガラス中に生成した照射欠陥のESR測定(2)

抄録

イオンビーム照射した石英ガラス中の照射欠陥をESR法によって測定した。照射欠陥生成量のフルエンス依存性、アニーリング挙動を測定して、そのメカニズムを検討した。