クリプトンガスのイオン注入固定化試験

大型容器の電極形状パラメータ試験

抄録

イオン注入固定化装置の大型容器によるクリプトンガスの処理量を向上するため、上下のアノード電極の形状に関するパラメータ試験を実施し、最適形状を確認した。