全面吸収体構造TES型X線検出器の開発

抄録

超伝導転移端センサ(TES)型マイクロカロリーメータX線検出器は、入射X線光子を吸収して熱エネルギーに変換する吸収体と、吸収体の微小な温度変化を高精度で計測するTESとで構成される。本研究では、X線有感部の面積を広くするために、TESとほぼ同じ面積を有する吸収体をTES上に積層した全面吸収体構造を考案した。吸収体はTESを覆うかさ部とTESへ熱を伝えるステム部からなるマッシュルーム構造をしており、かさ部とTESの間には、絶縁層が挿入されている。この全面吸収体構造を有するTES型X線検出器のX線応答特性について報告する。