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電気泳動堆積法により極小Au櫛型電極上に形成されたSmFeO3膜のNO2ガスセンシング特性
2021 年 70 巻 6 号 p. 373-378
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2021 年 70 巻 6 号 p. 373-378
電気泳動堆積法（EPD）を用いて微小Au櫛型(くしがた)電極上に半導体膜を形成し，NO2ガスに対する応答特性を評価した．検知材料にはSmFeO3を用い，シアノ錯体を500と900℃ で熱分解することで調製した．SmFeO3粒子の懸濁液の液滴中で電気泳動させることにより，Au櫛型電極上に選択的に検知膜を形成することができた．NO2に対する応答は，作動温度の低下とともに増加し，250℃ で最大となった．また，高表面積が得られた500℃ 熱分解SmFeO3を用いた素子において高い応答性が得られた．特に，500℃ 熱分解SmFeO3の堆積膜を600℃ で焼結した場合，10 ppm NO2に対してS＝96の非常に高い応答を示し，かつ0.2 ppmの低濃度NO2に対しても有意な感度が得られることが分かった．
