粘土鉱物のTEM-EDS分析におけるSDD検出器およびX線ポリキャピラリの利用

抄録

非常に局所的な化学組成を短時間で得られるTEM-EDS分析は、粘土鉱物学の分野でも重要な分析技術の一つである。しかしながら現行のEDSシステムは許容係数率が低く、比較的低倍の分析ではしばしば長時間の電子線照射が必要となる。また分析時には液体窒素で検出器を冷やさなくてはならない。本発表では、TEM-EDS分析の利便性を大幅に向上するSDD検出器の利用について報告する。