フライングプローブ検査機の接触痕

抄録

接触式基板検査装置であるフライングプローブ検査機のプローブ接触痕を測定したので報告します。接触式電気検査ではさけて通れないプローブ接触痕は、プロービング速度との関係が深いため、その点を重点に考察しました。測定については、基板検査装置使用者の関心が高い、接触痕の深さと面積について調査しましたので報告します。